通過需要測量的特征，可判斷應當使用探針的類型和尺寸。測量過程中，要求探針的剛性和測尖的形狀都達到盡可能佳的程度。

　　對于蔡司探針我們要了解幾個名詞：

　　1.測針直徑；

　　2.總長：指的是從探針后固定面到測尖中心的長度；

　　3.桿直徑；

　　4.有效工作長度(EWL)：有效工作長度(EWL)：指的是從測尖中心到與一般測量特征發(fā)生障礙的探針點的距離。

　　我們在選擇探針時的原則：

　　為保證一定的測量精度，在對探針的使用上，需要探針長度盡可能短，探針彎曲或偏斜越大，精度將越低。因此在測量時，盡可能采用短探針；其次是連接點少，每次將探針與加長桿連接在一起時，就額外引入了新的潛在彎曲和變形點。因此在應用過程中，盡可能減少連接的數目；使測球盡可能大主要原因有兩個：使得球/桿的空隙大，這樣減少了由于“晃動”而誤觸發(fā)的可能測球直徑較大可削弱被測表面未拋光對精度造成的影響。

　　蔡司探針測尖的材料-紅寶石：

　　常見的測球的材料是紅寶石，因為紅寶石是目前已知的堅硬的材料之一。紅寶石球具有良好的表面光潔度，并具有優(yōu)異的耐壓強度和抗碰撞性。只有極少的情況不適宜采用紅寶石球，如下情況下推薦采用其他材料制成的測尖：

　　在高強度下對鋁材料制成的工件進行掃描。主要原因在于材料吸引，基于一個稱為“膠著磨損”的現象會在觸測過程中發(fā)生。在這種情況下，一個較好的選擇是氮化硅。